Forschungsinfrastruktur der Fakultät 5
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Kategorien
A. Mess- und Analysegeräte
Mikroskope
Spektrometrie & Chromatographie
Prüfsysteme
Röntgentechniken
Analytische Lasergeräte
Umwelt-/Probenanalytik
Umwelt-Monitoringsysteme
Geowissenschaftliche Sensorik
Kommunikations-/Netzwerkanalyse
Imaging- & Bildgebungssysteme
B. Prozess-, Produktions- und Fertigungsanlagen
Maschinenbau/Fertigung
3D-Druck/Additive Fertigung
Reinraum- & Halbleiterfertigung
Chemische/Bioprozesstechnik
Test- & Demonstrationsanlagen
C. Großgeräte und Spezialanlagen
Strömungs- und Umweltanlagen
Crash- und Belastungsanlagen
Klimasimulation
Hochtechnologische Forschung
Medizin & Diagnostikzentren
D. Laborautomation & Probenhandling
Flüssigkeitsmanagement
Zell- und Molekularbiologie
Proben-/Lagerlogistik
Roboterlösungen
E. IT- und Computer-Infrastruktur
Recheninfrastruktur
Speicher-/ Cloudsysteme
Visualisierung
Simulation/Steuerung
Spezialisierte Plattformen
F. Mobilitäts- und Testsysteme
Fahrzeug- und Verkehrstechnik
Luft- und Raumfahrt
Energie und Umwelt
Bau, Geo, Medizin
G. Sicherheits- und Schutztechnik
Laborhygiene
Reinraum- und Probenbereiche
Umweltschutz
Spezialsicherheit
Fabrication / Additive technologies
Atomic layer deposition
Chemical vapor deposition
Ion-beam deposition
Physical vapor deposition
Fabrication / Lithography
Electron-beam lithography
Laser lithography
Nanoimprint lithography
Photolithography
Fabrication / Modification of material properties
Rapid thermal processing
Thermal processing
High-pressure extraction
Fabrication / Packaging
Bonding
Dicing
Pull/shear testing
Fabrication / Subtractive technologies
Reactive ion etching
Chemical mechanical polishing
Ion-beam etching
Plasma etching/ashing
Vapor-phase etching
Atomic layer etching
Thermal etching
Fabrication / Wet benches (fume hood)
Lift-off
Acids and bases
Fabrication / Wet benches (laminar flow)
Plating
2D materials
Acids and bases
Solvents
Resist development
Resist coating
Resist coating + solvants
Lift-off
RCA clean
Characterization / Physical optical characterization
Optical microscopy
Optical spectroscopy
Optical surface profilometry
Raman spectroscopy
Ellipsometry
Tactile surface profilometry
Solar simulation
Characterization / Electrical characterization
Impedance spectroscopy
Device characterization
Characterization / Nanoanalytics of materials
Electrochemical capacitance-voltage profiling
Scanning electron microscopy
Optical emission sepctroscopy
Secondary ion mass spectroscopy
Atomic force microscopy
Photo-induced force microscopy
Kelvin Probe Force Microscopy
X-ray analytics