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Eintrag

Kategorie:
Vapor-phase etching

Art des Gerätes:
Sonstiges/Other

Bezeichnung der übergeordneten Forschungsinfrastruktur (optional):
Sonstiges/Other

Zusätzliche Methoden und Synergien mit anderen Geräten (optional):

Identifikationsnummer (optional):
sonstiges-other-53

Kurze Beschreibung des Gerätes (maximal 5000 Zeichen):
Hydrofluorid acid vapor-phase etchung (VPE) of oxides (especially SiO2 and Al2O3).

Hersteller:
Idonus Sarl

Jahr des Erwerbs (optional):

Modell:
VPE-150

Notwendige / einschränkende Rahmenbedingungen für den Einsatz (optional):
wafers up to 150 mm / Material category A, B

Nutzergruppen:
Internals and externals

Art der Nutzung:
Operator

Fakultät:

• Faculty 6 – Electrical Engineering and Information Technology

Fachgruppe / Lehreinheit (optional):

Institutskennziffer (IKZ):
ZMNT – Central Laboratory for Micro- and Nanotechnology

Website (optional)

Adresse (optional):
ZMNT, module 1, Building No. 4230, Room 001

Ansprechpartner*in:
Dr.-Ing. Birger Berghoff

E-Mailadresse (optional):