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Eintrag
Kategorie:
Physical vapor deposition
Art des Gerätes:
Sonstiges/Other
Bezeichnung der übergeordneten Forschungsinfrastruktur (optional):
Sonstiges/Other
Zusätzliche Methoden und Synergien mit anderen Geräten (optional):
Identifikationsnummer (optional):
sonstiges-other-17
Kurze Beschreibung des Gerätes (maximal 5000 Zeichen):
Sputter coating with Cr.
Hersteller:
Fischione Instruments
Jahr des Erwerbs (optional):
Modell:
Model 1020
Notwendige / einschränkende Rahmenbedingungen für den Einsatz (optional):
samples up to diamters of 50 mm / Material category C
Nutzergruppen:
Internals and externals
Art der Nutzung:
Operator
- Faculty 6 – Electrical Engineering and Information Technology
Fachgruppe / Lehreinheit (optional):
Institutskennziffer (IKZ):
ZMNT – Central Laboratory for Micro- and Nanotechnology
Adresse (optional):
"Rotation Building
--> ZMNT, module 2"
Ansprechpartner*in:
Dr.-Ing. Birger Berghoff