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Eintrag
Kategorie:
Physical vapor deposition
Art des Gerätes:
Sonstiges/Other
Bezeichnung der übergeordneten Forschungsinfrastruktur (optional):
Sonstiges/Other
Zusätzliche Methoden und Synergien mit anderen Geräten (optional):
Identifikationsnummer (optional):
sonstiges-other-16
Kurze Beschreibung des Gerätes (maximal 5000 Zeichen):
"Sputter coating with noble metals.
Available metals: Au, Ag."
Hersteller:
Quorum Technologies
Jahr des Erwerbs (optional):
Modell:
Q150RS Plus
Notwendige / einschränkende Rahmenbedingungen für den Einsatz (optional):
samples / Material category C
Nutzergruppen:
Internals and externals
Art der Nutzung:
Operator
- Faculty 6 – Electrical Engineering and Information Technology
Fachgruppe / Lehreinheit (optional):
Institutskennziffer (IKZ):
ZMNT – Central Laboratory for Micro- and Nanotechnology
Adresse (optional):
ZMNT, module 1, Building No. 4230, Room 006
Ansprechpartner*in:
Dr.-Ing. Birger Berghoff