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Eintrag

Kategorie:
Physical vapor deposition

Art des Gerätes:
Sonstiges/Other

Bezeichnung der übergeordneten Forschungsinfrastruktur (optional):
Sonstiges/Other

Zusätzliche Methoden und Synergien mit anderen Geräten (optional):

Identifikationsnummer (optional):
sonstiges-other-13

Kurze Beschreibung des Gerätes (maximal 5000 Zeichen):
Electron beam evaporation of Cr, Au, Ag, Pt, Ni, Ti, Cu, Al, Ta.

Hersteller:
Leybold

Jahr des Erwerbs (optional):

Modell:
A700QE (refurbished)

Notwendige / einschränkende Rahmenbedingungen für den Einsatz (optional):
"from samples up to 6"" wafers / Material category C"

Nutzergruppen:
Internals and externals

Art der Nutzung:
Service (intern and extern)

Fakultät:

• Faculty 6 – Electrical Engineering and Information Technology

Fachgruppe / Lehreinheit (optional):

Institutskennziffer (IKZ):
ZMNT – Central Laboratory for Micro- and Nanotechnology

Website (optional)

Adresse (optional):

Ansprechpartner*in:
Dr.-Ing. Birger Berghoff

E-Mailadresse (optional):