Zurück

Eintrag

Kategorie:
Ellipsometry

Art des Gerätes:
Sonstiges/Other

Bezeichnung der übergeordneten Forschungsinfrastruktur (optional):
Sonstiges/Other

Zusätzliche Methoden und Synergien mit anderen Geräten (optional):

Identifikationsnummer (optional):
sonstiges-other-121

Kurze Beschreibung des Gerätes (maximal 5000 Zeichen):
"Spektroskopische Ellipsometrie 360-1000 nm, Auflösung 1 nm, abbildende Ellipsometrie, 20-90° Armwinkel, Müller-Matrix-Ellipsometrie"

Hersteller:
Accurion (now: Park Systems)

Jahr des Erwerbs (optional):

Modell:
nanofilm_ep4se

Notwendige / einschränkende Rahmenbedingungen für den Einsatz (optional):
Material category C

Nutzergruppen:
Internals and externals

Art der Nutzung:
Operator

Fakultät:

• Faculty 6 – Electrical Engineering and Information Technology

Fachgruppe / Lehreinheit (optional):

Institutskennziffer (IKZ):
ZMNT – Central Laboratory for Micro- and Nanotechnology

Website (optional)

Adresse (optional):
ZMNT, module 1, Building No. 4230, Room 001

Ansprechpartner*in:
Dr.-Ing. Birger Berghoff

E-Mailadresse (optional):