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Forschungsinfrastruktur der Fakultät 5
RWTH Aachen University
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Kategorie
Mikroskope
Spektrometrie & Chromatographie
Prüfsysteme
Röntgentechniken
Analytische Lasergeräte
Umwelt-/Probenanalytik
Umwelt-Monitoringsysteme
Geowissenschaftliche Sensorik
Kommunikations-/Netzwerkanalyse
Imaging- & Bildgebungssysteme
Maschinenbau/Fertigung
3D-Druck/Additive Fertigung
Reinraum- & Halbleiterfertigung
Chemische/Bioprozesstechnik
Test- & Demonstrationsanlagen
Strömungs- und Umweltanlagen
Crash- und Belastungsanlagen
Klimasimulation
Hochtechnologische Forschung
Medizin & Diagnostikzentren
Flüssigkeitsmanagement
Zell- und Molekularbiologie
Proben-/Lagerlogistik
Roboterlösungen
Recheninfrastruktur
Speicher-/ Cloudsysteme
Visualisierung
Simulation/Steuerung
Spezialisierte Plattformen
Fahrzeug- und Verkehrstechnik
Luft- und Raumfahrt
Energie und Umwelt
Bau, Geo, Medizin
Laborhygiene
Reinraum- und Probenbereiche
Umweltschutz
Spezialsicherheit
Atomic layer deposition
Chemical vapor deposition
Ion-beam deposition
Physical vapor deposition
Electron-beam lithography
Laser lithography
Nanoimprint lithography
Photolithography
Rapid thermal processing
Thermal processing
High-pressure extraction
Bonding
Dicing
Pull/shear testing
Reactive ion etching
Chemical mechanical polishing
Ion-beam etching
Plasma etching/ashing
Vapor-phase etching
Atomic layer etching
Thermal etching
Lift-off
Acids and bases
Plating
2D materials
Acids and bases
Solvents
Resist development
Resist coating
Resist coating + solvants
Lift-off
RCA clean
Optical microscopy
Optical spectroscopy
Optical surface profilometry
Raman spectroscopy
Ellipsometry
Tactile surface profilometry
Solar simulation
Impedance spectroscopy
Device characterization
Electrochemical capacitance-voltage profiling
Scanning electron microscopy
Optical emission sepctroscopy
Secondary ion mass spectroscopy
Atomic force microscopy
Photo-induced force microscopy
Kelvin Probe Force Microscopy
X-ray analytics
Art des Gerätes
Bezeichnung der übergeordneten Forschungsinfrastruktur (optional)
Zusätzliche Methoden und Synergien mit anderen Geräten (optional)
Identifikationsnummer (optional)
Kurze Beschreibung des Gerätes (maximal 5000 Zeichen)
Hersteller
Jahr des Erwerbs (optional)
1950
1951
1952
1953
1954
1955
1956
1957
1958
1959
1960
1961
1962
1963
1964
1965
1966
1967
1968
1969
1970
1971
1972
1973
1974
1975
1976
1977
1978
1979
1980
1981
1982
1983
1984
1985
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1987
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1990
1991
1992
1993
1994
1995
1996
1997
1998
1999
2000
2001
2002
2003
2004
2005
2006
2007
2008
2009
2010
2011
2012
2013
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2015
2016
2017
2018
2019
2020
2021
2022
2023
2024
2025
2026
2027
2028
2029
2030
2031
2032
2033
2034
2035
2036
2037
2038
2039
2040
2041
2042
2043
2044
2045
Modell
Notwendige / einschränkende Rahmenbedingungen für den Einsatz (optional)
Nutzergruppen (Bitte auswählen)
Interne
Externe
Interne und Externe
Art der Nutzung (Bitte auswählen)
Dienstleistung (intern und extern)
Anwender*in
Dienstleistung und Anwender*in
Fakultät
Faculty 1 – Mathematics, Computer Science and Natural Sciences
Faculty 2 – Architecture
Faculty 3 – Civil Engineering
Faculty 4 – Mechanical Engineering
Faculty 5 – Georesources and Materials Engineering
Faculty 6 – Electrical Engineering and Information Technology
Faculty 7 – Arts and Humanities
Faculty 8 – School of Business and Economics
Faculty 10 – Medicine
Fachgruppe / Lehreinheit (optional)
Institutskennziffer (IKZ)
Website (optional)
Adresse (optional)
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